SM5420是一個小外型SO-8封裝的不帶溫度補償壓力傳感器，該傳感器使用SMI公司經(jīng)過優(yōu)化的硅微結(jié)構(gòu)的SM5108晶圓，并能為如此小的壓力傳感器提供比較高的精確度。這種優(yōu)越性能通過細(xì)微電阻安裝和微機械配置以及先進(jìn)的MEMS加工技術(shù)而得。
這種傳感器是為大批量使用而價格又成為關(guān)鍵因素的客戶而設(shè)計，如胎壓計或者是輪胎氣壓監(jiān)測系統(tǒng)。SM5420為絕壓類型的壓力傳感器，滿量程范圍為15psi、30psi和100psi,SM5420是基于大批量使用陶瓷基板或者是印刷電路板的制造商而設(shè)計。
SM5420可以選用帶端口的配置或者帶孔配置，讓進(jìn)氣通過端口上方或者壓力源的正向定位用于感應(yīng)一般環(huán)境壓力或者與O形的密封圈一起使用。該端口方向已選定以最小化因惡劣環(huán)境中附加的長期依賴而造成的壓力脈沖直接沖擊壓力晶圓正面的幾率。該器件對帶有凝膠的作為標(biāo)準(zhǔn)，大量訂購該器件并需要最大化穩(wěn)定性的可以不帶凝膠，比如在氣壓站、氣象站的傳感應(yīng)用。
特點
? 15psi、30psi和100psi
? 寬工作溫度范圍（-40至+125℃）
? 適用于自動化流水線裝配
? 超低價格
? 小外型封裝（0.16英寸ⅹ0.16英寸）
? 恒定電流或者恒定電壓供電
? 較大的mV電壓輸出
? 沒有溫度補償及零點校準(zhǔn) 應(yīng)用
? 汽車輪胎壓力監(jiān)測
? 引擎控制
? 氣壓傳感
? 海拔高度校正儀
? 氣動儀表
? 手持式儀表
? 家電

性能參數(shù)
所有參數(shù)在室溫25℃，5V直流恒壓源供電的條件下測量而得，除非另外規(guī)定。
最小值 典型值 最大值 單位
激勵電壓源 DC 0 5.0 10 V
激勵電流源 DC 0 1.0 1.6 mA
滿量程輸出 PSI （kPa）
15（103） 95 127 160 mv
30（207） 65 100 135 mv
             100（689） 65 100 135 mv
零點輸出 -35 0 35 mV
滿量程溫度系數(shù) -0.24 -0.19 -0.155 %FS/℃
零點溫度系數(shù) -0.07 -0.01 +0.07 %FS/℃
電阻溫度系數(shù) +0.24 +0.275 +0.33 %RB/℃
壓力線性度（非線性誤差） -0.20 -0.07 +0.20 %FS
橋臂阻抗 4 5 6 kΩ
輸入電容 <2 pF
耐壓 3ⅹ Rated FS
爆破壓力 5ⅹ Rated FS
工作溫度 -40 +125 ℃
存儲溫度 -40 +150 ℃

注意：
1、電橋可以被正電壓或者負(fù)電壓激勵；正輸出適用在正電壓激勵正壓力加載在晶圓上
2、在5V恒定電壓激勵下測量
3、測量從0到70℃
4、最佳直線擬合